NM-005为Z向直驱压电平移台,采用压电陶瓷直驱机构的设计原理,具有体积小、无摩擦、响应速度快等特点,配置高精度传感器,可以实现纳米级分辨率、定位精度具有较高的可靠性,压电平移台在精密定位领域中发挥着重要的作用。
NM-010为Z向直驱压电平移台,采用压电陶瓷直驱机构的设计原理,具有体积小、无摩擦、响应速度快等特点,配置高精度传感器,可以实现纳米级分辨率、定位精度具有较高的可靠性,压电平移台在精密定位领域中发挥着重要的作用。
压电位移台可提供SGS传感器反馈或无反馈(开环)。
对于需要紧凑的尺寸,高动态性和亚纳米级的定位分辨率,但又不需要绝对的定位精度和可重复性的应用,开环提供了一种经济高效的选择。在通过外部反馈源(干涉仪,视觉系统,光电探测器等)控制压电位置的情况下,也可以使用开环设计版本。

注:所有规格参数基于室温(22°C±3°C)测得,欲了解更多信息,请与我们联系。表中“-”表示为不适用。
1.尾缀“-S”为闭环,内置位置传感器。开环尾缀不带"-S,无线性误差、重复度数据。
2.最大驱动电压为-20V~+150V,对于高可靠的长期使用,建议驱动电压在0.+120V,更大行程请咨询。出厂为标称行程。
3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦,所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用RMS(1σ)值进行测量和指定。
4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值,它主要由压电控制器的DAC分辨率决定。最佳情况下,参数表中为16-Bit对应的位移步长值。
5.轴向载荷,更高的负载请咨询,注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。
6.更长的线缆长度请咨询。
7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。
8.公差中Max.表示最大值;typ.表示标准典型数据值,检测报告中会给出实际的测量数据值。
产品尺寸:

