NM-200紧凑型线性纳米定位台,沿Z方向可提供200μm行程的运动。其紧凑的设计使其成为许多光子学和光纤定位应用的理想工具。Z轴纳米定位线性位移台是基于压电压电陶瓷驱动的线性位移台,由于固态弯曲和平行结构,这些压电平台可以在X和Z方向上移动而没有任何机械间隙。它们可提供比机械或机电系统更高的分辨率。
NM-200系列位移台可以轻松地与XY和压电偏转旋转系统结合使用,以提供所有自由度的定位。闭环版本具有高分辨率应变片式位置传感器,可实现高精度和可重复的运动,还可以补偿压电陶瓷的的蠕变。传感器采用全闭环电桥设计。它可以在开环或闭环控制中运行。
NM-200非常适用于小部件例如反射镜和激光二极管)的纳米级精确定位,特别是在需要长期稳定性的应用中。

注:所有规格参数基于室温(22°C±3°C)测得,欲了解更多信息,请与我们联系。表中“-”表示为不适用。
1.尾缀“-S”为闭环,内置位置传感器。开环尾缀不带“S,无线性误差、重复度数据。
2.最大驱动电压为-20V~+150V,对于高可靠的长期使用,建议驱动电压在0..+120V,更大行程请咨询。出厂为标称行程。
3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦,所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用RMS(1σ)值进行测量和指定
4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值,它主要由压电控制器的DAC分辨率决定。最佳情况下,参数表中为16-Bit对应的位移步长值。
5.轴向载荷,更高的负载请咨询,注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。
6.更长的线缆长度请咨询。
7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。
8.公差中Max.表示最大值;typ.表示标准典型数据值,检测报告中会给出实际的测量数据值。
产品尺寸:
